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最新 圣柏林 450mm 真空加熱器卡盤的重點(diǎn)是高達(dá) 450°C 的原子層沉積 (ALD) 應(yīng)用。該設(shè)計(jì)是一個(gè)壓縮組件，底板上有許多真空孔和凹槽，以便在真空室抽真空期間允許氣體逸出。無需表面陽極氧化處理。 這種高效的真空加熱器在 45 分鐘內(nèi)達(dá)到 450°C 的大氣溫度（不銹鋼中為 700°C）。底板上質(zhì)量的減少提供了適當(dāng)?shù)臍怏w消除和更快的初始升溫時(shí)間。由于升溫時(shí)間縮短，降低瓦數(shù)可能是 450mm 真空加熱器吸盤未來迭代的一個(gè)選擇。 |
規(guī)格
- 板體：鋁 6061
- 密封組件：不銹鋼
- 電加熱元件：3,850 瓦 (+/- 10%) / 240 伏
- 最高溫度：真空中 450°C
- 加熱器護(hù)套過渡和壓縮部件：不銹鋼 304
- 有領(lǐng)壓縮套筒在兩個(gè)位置釬焊
- 16ra，表面處理，無陽極氧化
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客服1