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于2012年,專(zhuān)注大中型企業(yè)電熱產(chǎn)品生產(chǎn)國(guó)家專(zhuān)利技術(shù) 產(chǎn)品質(zhì)量有保障
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熱卡盤(pán)加熱器 300mm

用于半導(dǎo)體晶片加熱。真空釬焊 6061 T6 鋁加熱器,表面光潔度為 2-3 Ra µin。

設(shè)計(jì)包括專(zhuān)有的內(nèi)部元件圖案、凹口和熱電偶孔,以及添加額外的制造步驟以提供 2-3 Ra µin 的光潔度。

規(guī)格

  • 溫度均勻度±1%
  • 50°C - 450°C 溫度范圍
  • 2-3 Ra µin 的“鏡面”表面光潔度
  • 硬涂層陽(yáng)極氧化
  • 6061 T6鋁
  • 1000 VDC 時(shí) 20 兆歐隔離
  • 3 mA 時(shí)耐壓 2E + 1K
  • 平整度: 斜坡前 0.0001"
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