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半導(dǎo)體行業(yè)的絕佳選擇夾式線圈加熱器在 350°C 時提供 +/-1.5°C 的出色溫度均勻性（有關(guān)更多詳細信息，請參閱斜坡溫度與時間圖）。目前外形尺寸為 200mm 的裝置由 圣柏林 設(shè)計，負責(zé)在 150mm 和 200mm 硅基板上均勻地加工 2um 介電層的半導(dǎo)體晶圓。兩種尺寸的晶圓都直接放置在堅硬的透明陽極氧化表面上。硅晶圓上的 2um 介電層沒有任何圖案化的跡象，而其他加熱器卡盤通常會出現(xiàn)這種情況。此外，無需釬焊或鑄造即可實現(xiàn)這一點，從而降低了原型的成本和交貨時間 |
特征
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客服1