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ESC是Etcher設備的核心部分，Etcher設備是半導體刻蝕工藝
設備。我們擁有能夠
與主要半導體設備公司共同開發以及ESC本地化的經驗和技術水平。
由于我們擁有使用MLC和熱壓機的原始制造技術，我們開發、
制造和供應ESC以滿足各種客戶的需求。
* 連接到半導體工藝過程中蝕刻過程 中使用的蝕刻設備腔室中的消耗部件。它以恒定的功率固定并固定晶圓
。
圣柏林的 高性能ESC基于優化的內聯MLC工藝生產。
MLC ESC 是許多半導體設備和工藝中使用的關鍵部件。
電極和冷卻劑模式等 ESC 設計提供了多種功能性能。
圣柏林 的 MLC ESC 通過內置多層電極和多區域加熱器提供最佳晶圓溫度控制。
圣柏林陶瓷熱壓電調具有高端陶瓷特性
高純度ESC具有高介電強度和相對密度
高介電常數ESC產生高夾持力
加熱器或多電極可嵌入陶瓷板
圣柏林的 HP ESC 在高密度等離子蝕刻工藝中表現出高耐用性
高介電常數電調
| 等級 | 特征 |
密度 （克/立方厘米） |
介電常數 ? |
體積電阻率 （Ω·cm） |
導熱系數 （W/(m*K)） |
維氏硬度 （HV） |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
MLA |
多層電極 |
≥3.8 |
10 |
≥1E16 |
24 |
≥1350 |
|
羥丙酸 |
高純陶瓷 |
≥3.95 |
10 |
≥1E16 |
33 |
≥1800 |
|
HDA |
高介電常數 |
≥3.9 |
14 |
≥1E15 |
30 |
≥2000 |
| 過程 | 細節 | 電調類型 | 評論 |
|---|---|---|---|
|
干法蝕刻 |
氧化物 |
單極 |
高密度陶瓷、多層電極 |
|
雙極 |
高密度陶瓷，嵌入式氦通道 |
||
|
保利 |
單極 |
多區加熱器、嵌入式加熱器 |
|
|
雙極 |
多區加熱器、多層電極 |
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