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晶圓加熱盤-可定制

加熱器類型加熱板標準選項 1:尺寸 基座加熱器有 4 種不同的標準尺寸:100 毫米、200 毫米、300 毫米也可以根據客戶的規格制造不同的尺寸和形狀對于新的加熱器詢價,請注明:-形狀:矩形、圓形或其他-尺寸:長 x 長 x 厚、直徑 x 厚或其他機械要求3 區加熱器,帶 3 個嵌入式熱電偶,直徑 25 英寸,厚度 0.75 英寸300mm 加熱器200mm方形加熱器標準選項 2:加熱元件和傳

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加熱器類型

加熱板標準選項 1:尺寸

 
  • 基座加熱器有 4 種不同的標準尺寸:100 毫米、200 毫米、300 毫米

  • 也可以根據客戶的規格制造不同的尺寸和形狀

  • 對于新的加熱器詢價,請注明:

-形狀:矩形、圓形或其他

-尺寸:長 x 長 x 厚、直徑 x 厚或其他機械要求

 
帶 3 個嵌入式 T.C 的 3 區加熱器

3 區加熱器,帶 3 個嵌入式熱電偶,直徑 25 英寸,厚度 0.75 英寸

300mm 加熱器

300mm 加熱器

200mm方形加熱器

200mm方形加熱器

標準選項 2:加熱元件和傳感元件

 

  • 使用不同類型的加熱和傳感元件來滿足您的應用需求:

    • 直徑為 0.250 - 375 英寸的管狀加熱器。

    • 直徑范圍從 .062 到 .188 的柔性礦物絕緣電纜

    • 可以在內部嵌入熱電偶和 RTD,以監測和控制每個區域的功率輸出。

  • 對于新的加熱器詢價,請說明

    • 瓦數

    • 工作電壓

    • 加熱元件或區域的數量,傳感元件的數量

    • 工作溫度和最高溫度

    • 熱均勻性要求

 
帶 3 個嵌入式 T.C 的 3 區加熱器 25

3 區加熱器,帶 3 個嵌入式熱電偶,直徑 25 英寸,厚度 0.75 英寸

300mm 加熱器

300mm 加熱器

200mm方形加熱器

200mm方形加熱器

標準選項 3:材料選擇

 

  • 我們的加熱器可以由不同的材料制成。最常見的是鋁、不銹鋼和銅。

  • 雙金屬加熱器也可根據要求制造

  • 對于新的加熱器詢價,請說明

- 材質:鋁、不銹鋼、銅、異種金屬或其他

- 特殊表面處理:陽極氧化、打磨、研磨、特殊涂層

 
帶陽極氧化表面的鋁加熱器

帶有陽極氧化表面的大型鋁加熱器,可改善輻射傳熱

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器

 

標準選項 4:

常見包括:

 

  • 鐵氟龍或聚酰亞胺導線
  • 真空密封用托爾管
  • 立管
  • 波紋管、雙金屬片和托爾管的組合
 
大型鋁制加熱器

帶有陽極氧化表面的大型鋁加熱器,可改善輻射傳熱

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器

 

特別選項

特殊選項包括但不限于:
  • 嵌入式冷卻通道
  • 嵌入式氣路
  • 使用 PyrAlloy(又名 TPG 或熱解石墨)提高熱均勻性
  • 我們協助您進行設計以及按圖制造
  • 熱建模可用
 
帶陽極氧化表面的鋁加熱器

帶有陽極氧化表面的大型鋁加熱器,可改善輻射傳熱

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器

帶銅和不銹鋼的加熱器

查詢零件號

 

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一個 

圣柏林-x 加熱器的擴展功能

 

模擬:
- 使用 COMSOL Multiphysics® 和 Autodesk Nastran,對每個設計進行仿真以預測熱行為和機械行為
測試:
- 帶有熱圖像、熱電偶晶片和光學傳感的指定真空室可用于驗證每個加熱器的性能
校準實驗室:
- 內部校準實驗室確保所有傳感元件都在公差范圍內
質量控制:
- 設備齊全的電氣測試室,確保滿足所有電氣要求,即 GFI、泄漏、電阻……
- 利用統計過程控制軟件 (JMP®) 確保每個制造過程都在其控制范圍內
- 可使用多坐標測量機 (CMM) 確保滿足所有機械尺寸
爐和多軸機器:
- 用于釬焊的真空爐和氫氣爐
- 可以創建復雜幾何零件的多軸 CNC 機器。
- 用于高重復焊接的自動 MIG 焊機
定制真空饋通:
- 用于通過真空室傳輸功率的陶瓷金屬接頭
- 復雜腔室的定制饋通
- 連接不同金屬的雙金屬材料

可以使用 COMSOL Multiphysics® 預測熱行為和熱應力
加熱器的熱均勻性

加熱器的熱均勻性

加熱器的熱應力

加熱器的熱應力

真空試驗箱

 

 

測試室可以在模擬過程中驗證加熱器的性能。各種氣體、環境和過程變量用于模擬實際過程。

驗證和測試服務:

  • 熱成像
  • 光學傳感
  • 熱電偶晶片
  • 耐壓溫度
  • GFI 進行中
  • 性能測試
 
 
真空室
真空試驗箱

TC 晶圓和熱成像
測試室可以在模擬過程中驗證加熱器的性能。各種氣體、環境和過程變量用于模擬實際過程。

驗證和測試服務:

 

  • 熱成像
  • 光學傳感
  • 熱電偶晶片
  • 耐壓溫度
  • GFI 進行中
  • 性能測試
300mm加熱器

300mm 加熱器的熱圖像

熱電偶晶片

使用 17 點 TC 晶圓結果的加熱器的熱均勻性使用 JMP® 軟件進行分析


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