數字可編程晶圓烤盤
大型圓形銑削平面鋁表面，整個加熱表面的溫度均勻性優于 1%。專為處理直徑為 12 英寸（304.8 毫米）或更小的硅晶圓和其他需要溫度精度和表面均勻性的樣品而設計。
描述
圣柏林FC-A00-C-9 可編程烘烤板是一款完全可編程的數字熱板，專為烘烤硅晶圓而設計。在手動操作中，只需設置一個目標溫度，設備就會達到并保持該精確溫度在 ± 1 °C 以內。在可編程模式下，例程可以存儲在內存中以供即時調用和使用。存儲的例程將自動運行，并且一次又一次地完全相同。
根據需要，程序可以簡單也可以復雜。如果需要，可以存儲多個溫度、升溫速率和停留時間。這些程序可以編寫并存儲在隨設備提供的遙控器中，或者當用戶在 PC 上編寫并由 PC 通過 RS-232 I/O 端口運行時，程序可以根據需要簡單或復雜。加熱器的后部。
特征
- 13.875 英寸（354.24 毫米）直徑的加熱器表面
- 銑削平板鋁非常適合 12 英寸（304.8 毫米）或更小的硅晶圓
- 可通過 RS232 I/O 端口或遠程控制器從 PC 或工業控制器進行遠程控制 提供對所有參數或數據的完全訪問權限
- 使用提供的遙控器可對臺面進行控制和編程
- 溫度范圍從室溫到 350 °C
- 可讀且可設置為 1 °C
- 精度 1% 的設置
- 從板面中部到兩側0.75英寸以內的溫度均勻性優于1%
- 溫度穩定性 ± 1 °C
- 校準至 0.1 °C 以保證精度
- 遙控器可以存儲 5 個獨立的程序，每個程序最多 10 個步驟，適用于各種無需干預、可重復的樣品運行
- 程序可自動重復 1 到 99 次或無限次（如果需要）
- 從 1 °C 到 450 °C，以 1 °C/小時的增量升溫或降溫
- 1500 W 加熱器功率
- 機箱底部獨特的溫度指示燈環。顏色從藍色（無目標溫度）變為黃色（當加熱到 50 °C 以下時）再到紅色（當加熱到 50 °C 以上時）。指示燈將閃爍，直到溫度穩定在 ± 0.2 °C 以內
- 內置倒數計時器，帶有聲音警報和可設置的自動關閉
- 12 個月保修
- UL、CSA 和 CE 認證待定
應用
- 清洗硅片
- 干燥硅片
- 蝕刻硅片
- 熱測試電路
- 熱測試環氧樹脂
- 焊接表面貼裝 PCB
- PCB的生命周期測試
- 測試液晶顯示器
完整的產品規格
| 溫度 | |
|---|---|
| 鉑熱電阻 | 100 Ω 零安裝在加熱器頂部 |
| 范圍 | 板面 10 °C 至 350 °C |
| 可讀性 | 1℃ |
| 溫控型 | PID |
| 溫度穩定性 | 1℃ |
| 溫度均勻性 | 從中心到板邊緣 0.75 英寸以內的設置優于 1% |
| 電氣 | |
| 加熱器功率 | 1500 瓦 |
| 交流電 | 115 VAC，50/60 Hz（可應要求提供 230 VAC） |
| 融合的 | 是的 |
| 電源線 | 可拆卸，6 英尺（1.8 m），3 線接地。單相 |
| 尺寸：加熱器模塊 | |
| 寬度 | 13.875 英寸（352.4 毫米）圓 |
| 高度 | 5.75 英寸（146 毫米） |
| 重量 | 21.5 磅（9.54 千克） |
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